目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展,應用范圍越來越廣泛。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。
特種氣體 specialily gas:用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。
特種氣體應用于國民經(jīng)濟的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場的需求。滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環(huán)氧乙1烷可殺滅細1菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。
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