滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環(huán)氧乙1烷可殺滅細1菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進步以滿足純度的要求。
CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除,本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設(shè)備中無 水,管路、閥門和容器不用時應密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。
特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內(nèi),存有內(nèi)容物時,無論內(nèi)容量多少,在該容器儲存場地2m內(nèi),嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。
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