如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍(lán)綠光激起染料激光。
銅蒸汽激光產(chǎn)品可發(fā)生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm),金蒸汽激光則可得數(shù)十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途,例如血紫質(zhì)衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm,而癌細(xì)胞能吸收此物質(zhì)。此物質(zhì)受到628 nm的激光光照耀后會分化,發(fā)生可癌細(xì)胞的物質(zhì)。不過,銅蒸汽激光激起染料激光,也可得到這種光,而不必依托金蒸汽激光。此外,578 nm的激光能夠除去某些胎記,作用優(yōu)于用氬離子激光。激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體,對氣體質(zhì)量要求高,激光混合氣配制精度要求高,高純二氧化碳純度達(dá)99.999%,高純氮?dú)獾募兌?9.999%,高純氦氣的純度要求99.999%,二氧化碳是產(chǎn)生激光的,氦氣是冷卻激光器的,氮?dú)馐瞧胶鈿怏w,氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大,能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。
金屬蒸汽離子激光中,氦鎘(He-Cd)激光是的,氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線,和441.6 nm藍(lán)光,是常見的輸出。加上特殊設(shè)計時,它可同時發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長成分,在信息處理方面很有用。適當(dāng)調(diào)配各波長的輸出,幾乎能夠發(fā)生一切可見光的顏色,因此它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲存密度及鑒別能力的提高,使它在量度、查驗、記載、印刷等方面有許多使用。近年來CO2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及,但激光畢竟是一種新的工具,激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法,所以工業(yè)界在引進(jìn)使用CO2激光器的過程中,曾經(jīng)遇到各種各樣的問題,給很多廠商造成不少困擾。重要的準(zhǔn)分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì),如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標(biāo)表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會天然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時形成的。
您好,歡迎蒞臨安徽譜純,歡迎咨詢...
觸屏版二維碼 |