對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規模約為98億元左右。值得關注的是,從產業鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。
滅菌特種氣體的主要成分是環氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環氧乙1烷可殺滅細1菌(及其內孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。特種氣體是電子工業,特別是大規模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產業的發展應與集成電路產業發展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發展是特種氣體產業的一個必然方向,這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。
CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質傳統精餾無法去除,本公司經過多年潛心研究和多項實驗,研發出的多元精餾添加劑打破了雜質共沸而無法除去的技術難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統工藝一次性投資降低 50%。特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料,特種氣體隨著新產品技術的發展,應用范圍越來越廣泛。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規模約為98億元左右。值得關注的是,從產業鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。
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