特種氣體廣泛應用于半導體制造行業,是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當的危險標記(例如、、有毒等) 。 特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。工業上,把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類.一般工業氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。目前,國內共有特種氣體生產企業達150余家,多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。
電子特種氣體種類多樣行業集中度高,細分領域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業用電子特種氣體市場規模達到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備,一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。滅菌特種氣體的主要成分是環氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環氧乙1烷可殺滅細1菌(及其內孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。
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