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如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。 一方面氬激光很少見，另一方面為了便于稱號，人們常將氬離子激光簡稱為氬激光。不光中文敘說如此，英文文獻亦見此用法，所以在不致混雜的時候，仍可用氬激光稱號氬離子激光。

如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。 激光混合氣中的發生氣體是激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。

準分子(Excimer)激光：準分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術語。現在現已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態，只以受激態出現的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。銅蒸汽激光產品可發生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm)，金蒸汽激光則可得數十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途，例如血紫質衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm，而癌細胞能吸收此物質。此物質受到628 nm的激光光照耀后會分化，發生可癌細胞的物質。不過，銅蒸汽激光激起染料激光，也可得到這種光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能夠除去某些胎記，作用優于用氬離子激光。分子氣體：二氧化碳激光和氮氣激光是常見的分子氣體激光，其主要激光光分屬紅外線(10,640 nm)及紫外線(337 nm)。生物組織中的水分會吸收它的10,640 nm激光光，所以能用于手術，所需激光光功率約為50W。此外，非金屬材料的加工、金屬表面的熱處理、光譜學及光化學研討、環境遙測、測距、激起其他激光、發生離子體(俗稱電漿；Plasma)等，也都可用二氧化碳激光來進行。

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