重要的準分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動介質,如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態常以星號(*)上標表示,所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現,而是在氣體混合物中放電時形成的。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及,但激光畢竟是一種新的工具,激光加工技術亦不同于傳統的加工方法,所以工業界在引進使用CO2激光器的過程中,曾經遇到各種各樣的問題,給很多廠商造成不少困擾。20W機型可發生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中,強而常用的是514.5及488 nm。氪離子激光可發生337.4至799.3 nm,強的是647.1 nm,其次為413.1及530.9 nm。產品中,有將氬氣與氪氣混合的機型。
目元激光混合氣體的方案組成比例:CO:4%,CO2:8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到的輸出功率,并且切割鋼板厚度達到25mm,還可以更好的保證工件質量。中性原子激光與離子氣體激光的差別,在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷,后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此,氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同,前者的激光光波長屬于紅外線波段,后者則在可見光和紫外線區。激光切割機用的激光混合氣體,二維激光切割機床用的四元激光混合氣體,主要用于鋼材的鈑金加工。
氣體激光(Gaseous laser),以氣體為自動介質的激光中,包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽,都是中性原子激光的自動介質。它們的蒸汽中,常混入低壓力的惰性氣體,以提高放電效率。
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