激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣,當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體,一般壓力要求比較高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。
準分子(Excimer)激光:準分子一詞的本意,是「兩個同種原子組成,而只存在于受激態(tài)的分子」,如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術語?,F(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬,以包含「不存在于基態(tài),只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。金屬蒸汽離子激光中,氦鎘(He-Cd)激光是主要的,氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線,和441.6 nm藍光,是常見的輸出。加上特殊設計時,它可同時發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長成分,在信息處理方面很有用。適當調配各波長的輸出,幾乎能夠發(fā)生一切可見光的顏色,因此它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲存密度及鑒別能力的提高,使它在量度、查驗、記載、印刷等方面有許多使用。
氣體激光(Gaseous laser),以氣體為自動介質的激光中,包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽,都是中性原子激光的自動介質。它們的蒸汽中,?;烊氲蛪毫Φ亩栊詺怏w,以提高放電效率。
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