安徽譜純|安全無憂(查看)-蘭州特種氣體廠：

 電子特種氣體種類多樣行業集中度高，細分領域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業用電子特種氣體市場規模達到 36.8 億美元，同比增長 5.7%；國內方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元，預計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體屬于工業氣體的一種。工業氣體是現代工業重要的基礎原料，根據不同氣體的生產工藝和用途，可以將工業氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。在半導體制造過程中涉及的材料眾多，在半導體集成電路的生產過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環節都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。

特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟，其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。

特種氣體的儲存注意事項：根據儲存的氣體類型設置標牌，如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

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