特種氣體屬于工業氣體的一種。工業氣體是現代工業重要的基礎原料,根據不同氣體的生產工藝和用途,可以將工業氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業氣體和特種氣體。一般工業氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。
目前,國內共有特種氣體生產企業達150余家,多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料,特種氣體隨著新產品技術的發展,應用范圍越來越廣泛。為了提高氣體穩定性和保質期,天然1氣公司已經開發出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。
特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備,一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。自80年代1開始,我國的氣體工業迅速發展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業用氣體等相繼問世,其品種數目已與國外發達國家水平相近。
您好,歡迎蒞臨安徽譜純,歡迎咨詢...
觸屏版二維碼 |