特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導體制造過程中涉及的材料眾多,在半導體集成電路的生產過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。
電子特種氣體種類多,應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術的核心產品。為了提高氣體穩定性和保質期,天然1氣公司已經開發出各種技術,以化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展,其應用范圍也越來越廣泛。
氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業氣體和特種氣體。一般工業氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。自80年代1開始,我國的氣體工業迅速發展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業用氣體等相繼問世,其品種數目已與國外發達國家水平相近。隨著國產化的推進,部分種類的電子特種氣體慢慢形成規模效應,占據市場半壁江山。一些常規的特氣產品,中國的產能甚至可以滿足全球范圍內的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質量管理,品牌效應方面來說,我們仍然處于低水平區間。
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