隨著國產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來說,我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。
滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣,對物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn),已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,特種氣體分類:電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,目前,我國電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國家相比,尚有較大差距;電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。
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