特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展,其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業名詞,是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規模約為98億元左右。值得關注的是,從產業鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。
電子特種氣體種類多樣行業集中度高,細分領域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業用電子特種氣體市場規模達到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體屬于工業氣體的一種。工業氣體是現代工業重要的基礎原料,根據不同氣體的生產工藝和用途,可以將工業氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。在半導體制造過程中涉及的材料眾多,在半導體集成電路的生產過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。
氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業氣體和特種氣體。一般工業氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業名詞,是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。
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