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重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態常以星號(*)上標表示，所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現，而是在氣體混合物中放電時形成的。激光混合氣中的發生氣體是激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。20W機型可發生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中，而的是514.5及488 nm。氪離子激光可發生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產品中，有將氬氣與氪氣混合的機型。

激光混合氣中的發生氣體是激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

激光切割機所用氣體的種類和作用： 1）空氣：①作為切割氣體使用 ②作為冷卻切使用 ③作為光路內部除塵使用（保護鏡片延長鏡片的使用時間） 2）普氧：作為切割碳鋼的氣體（助燃性）純度99.5% 3）純氮：作為切割不銹鋼的氣體（冷卻性）純度99.9%（切割碳鋼速度為3/4） 4）高純氮：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% 5）高純氦：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% 6）高純二氧化碳：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% ；氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。目元激光混合氣體的佳方案組成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到輸出功率，并且大切割鋼板厚度達到25mm，還可以更好的保證工件質量。

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